SU-8
Le SU-8 est une résine photosensible négative fréquemment utilisée dans la fabrication de micro-systèmes. C'est un polymère particulièrement visqueux qui peut être tourné ou étalé sur une épaisseur allant de 1 micromètre à 2 millimètres.
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Polymère - Science des matériaux
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- La fabrication de structures à haut rapport d'aspect néces-... attaque à l'acide nitrique auquel la résine SU-8 est insensi-... (source : shf-lhb)
Le SU-8 est une résine photosensible négative fréquemment utilisée dans la fabrication de micro-systèmes. C'est un polymère particulièrement visqueux qui peut être tourné ou étalé sur une épaisseur allant de 1 micromètre à 2 millimètres. Elle peut aussi être utilisée pour réaliser des motif de structures à rapport d'aspect élevé (> 20) [1]. Son pic d'absorption maximale se situe dans l'ultraviolet, pour une longueur d'onde de 365 nm. Quand elle est exposée, les longues chaînes moléculaires de la résine SU-8 réticulent ce qui solidifie le matériau.
La SU-8 est essentiellement utilisée dans la fabrication de composants microfluidiques ou de MEMS. Il s'agit aussi de l'un des matériaux les plus bio-compatibles, ce qui explique pourquoi il est fréquemment utilisé dans les bio-MEMS.
Notes et références
- (en) Cet article est partiellement ou en totalité issu de l'article de Wikipédia en anglais intitulé «SU-8 photoresist» (voir la liste des auteurs)
- J. Liu et al., Process research of high aspect ratio microstructure using SU-8 resist, vol. 10 (4), Microsystem Technologies, 2004 [lire en ligne], p. 265
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